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檢測設備
激光干涉儀
技術參數：
系統精度：±0.5ppm（0～40 ℃整個工作環境范圍）
激光穩頻精度：±0.05ppm
分辨率：0.001um
測量速度：4.0m/sec
采樣頻率：50KHz
測量范圍：0-80metres
預熱時間：～6分鐘
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